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HEM ホール効果測定装置

電磁石の磁界中心に置かれた試料に磁界を印加し、電流源より磁界と垂直に定電流を流した時、両者に垂直に発生する電圧を室温にて測定することにより、試料のホール係数、ホール移動度、キャリア密度等の物理量を調べます。

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HEM ホール効果測定装置

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  • 特長
  • 仕様
  • HEM-1型
    電磁石を使用して1Tの磁場を発生し、室温付近の環境下でホール効果測定を可能とします。
  • HEM-2型
    磁化器を使用して1Tの磁場を作製し、冷凍機による極低温領域からオーブンによる高温領域の環境下でホール効果測定を可能とします。

主な仕様

総合性能(HEM-1型) ※1
測定法 Van der Pauw法
抵抗測定範囲 1x10-6Ω~1x108Ω
抵抗率測定範囲 5x10-6Ω/□~5x108Ω/□
ホール係数測定範囲 1x10-2cm2/c以上
移動度測定範囲 2x10-10cm2/V・s以上
キャリア密度範囲 6x1020cm-2以下
総合性能(HEM-2型) ※2
測定法 Van der Pauw法
抵抗測定範囲 1x10-2Ω~4x1012Ω
抵抗率測定範囲 5x10-6Ω・cm~2x109Ω・cm
5x10-3Ω・cm~2x1012Ω・cm(厚み1mmの場合)
ホール係数測定範囲 1x10-2cm3/c以上
移動度測定範囲 5x10-12cm2/V・s以上
キャリア密度範囲 6x1020cm-3以下
  • ※1 測定範囲は、サンプルの厚みを考慮していません。
  • ※2 測定範囲は、指定以外サンプルの厚みを1μmとして計算しています。

構成

HEM-1型 HEM-2型
  • 励磁用電磁石および電源
  • ホール効果測定機器
  • ガウスメータ
  • パソコンおよびボード
  • 制御・計測用ソフト
  • 励磁用磁化機器および電源
  • ホール効果測定機器
  • ガウスメータ
  • 低温測定用クライオスタット
  • 高温測定用オーブン
  • 温度制御機器
  • パソコンおよびボード
  • 制御・計測用ソフト

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